2010년 춘계 학술대회
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| 한글제목(Korean Title) |
Web기반 Plasma 물성 참조데이터 수집평가 시스템 설계 |
| 영문제목(English Title) |
Design of Web based Plasma Properties Reference Data Collection and Evaluation System |
| 저자(Author) |
박준형
황성하
장원석
권득철
송미영
윤정식
Jun-Hyoung Park
Sung-Ha Hwang
Won-Suk Jang
Duek-Chul Kwon
Mi-Young Song
Jung-Sik Yoon
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| 원문수록처(Citation) |
VOL 17 NO. 01 PP. 1062 ~ 1065 (2010. 04) |
한글내용
(Korean Abstract) |
Plasma 물성 데이터는 Plasma내에서 일어나는 입자(전자, 원자, 이온, 분자 등)들의 충돌에 대한 데이터로써 Plasma 발생 장치 설계 및 제어의 핵심 요소이며, Plasma 공정조건 확립을 위한 필수 정보가 된다. 참조표준은 과학기술데이터나 정보에 대하여 정확도와 신뢰도에 대한 분석 및 평가가 이루어 진 공인데이터를 말한다. 이러한 플라즈마 물성 정보를 체계적으로 관리하고 신뢰성 있는 데이터를 필요로 하는 산업체에 지원하기 위하여 특정 참조표준과 참조데이터로 제정, 보급하는 Plasma 물성 참조표준 수집평가 시스템이 필요하고, 이에 대한 설계가 필요하다. |
영문내용
(English Abstract) |
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| 키워드(Keyword) |
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